半導体製造装置は、組み立て装置や検査装置、各種材料膜の形成装置や形状加工装置などそれぞれの工程で必要な装置を総称して「半導体製造装置」と呼ばれています。半導体製造装置は原子・分子レベルで物質や現象を解明する物理化学、機械工学、電気工学、材料工学をはじめ、化学反応を探求する高分子高分子物理化学や金属工学、コンピュータ制御工学など最先端の科学技術の結晶といわれます。

半導体は電気をよく通す物質の導体と、電気を通さない物質の絶縁体の、中間の性質を備えた物質が集合してある形体をなしている物体のことであり、その特性を活かし、機械や設備を目的どおりに作動させるための電気信号制御などに活用されています。

＜半導体製造装置部品のリバースエンジニアリング＞

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